環境に優しい透明導電薄膜の作製技術の
基礎・応用化研究

研究者

清水 秀己

                
                
取組課題

 透明導電酸化亜鉛薄膜の更なる低抵抗率化に向けて、結晶構造等を調べ、薄膜作製プロセスとの関わりを明確にする。今年度は昨年度の結果を踏まえスパッタリングによる薄膜のダメージの軽減を図る。また,低温下と大面積化に向けて新たな酸化亜鉛薄膜作製の模索を図る。


年度計画

平成23年度〜平成25年度   平成26年度


                    

文科省

  エコキャンパス推進事業